“您是说东芝又在数据上造假了?”
“这个‘又’字用的很对!”
陆飞不爽地撇撇嘴,日企仔技术资料和研究数据上造假早就是惯犯,蜜月期的时候就被坑惨啦,设备、零部件乃至原料全都有鬼。阑
三峡工程就差点招标霓虹造假的钢铁。
狗屁的工匠精神!
东芝根本没法做出有效的bics,本来整个工艺是交替沉积氧化物(sio)层和多晶硅(psi)层实现的,然后在这个层堆叠中形成一个通道孔,填充氧化物—氮化物—氧化物(ono)和psix。
接着沉积光刻胶,在连续的蚀刻流程后,光刻胶修整再蚀刻出个阶梯,形成互连。
最后一步,蚀刻出一个槽再填充氧化物。
然而问题不是出在第三步的光刻胶蚀刻,就是出在流片封测上,哪怕侥幸成功,粗粗一算,良品率低得简直令人发指——
才6.3%!阑
“陆总,东芝难道就没有一个说法吗!”
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